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原子力显微镜

主要功能：利用针尖与材料表面原子之间作用力，来获取材料表面的三维纳米尺度图像；自动测量软件和高速扫描系统完美结合，大幅提高了实验数据的可信度和可重复性；可以对不同样品进行测量，保证高度从埃级到100多纳米的样品高精度无失真扫描；在不降低分辨力，不增加设备复杂性的条件下，即时快速得到高分辨高质量AFM图像
主要技术指标：●接触模式、液态成像模式、智能扫描模式、相位成像技术等测量模式 ●XY方向最大扫描速度＞2 mm / s ●Z方向最大扫描速度＞12 mm / s ●最大扫描速度大于125 HZ
主要学科领域：材料科学
服务内容：分析与测试，检测结果输出
用户须知：

已测试 18 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

场发射扫描电镜热场

场发射扫描电镜热场Sirion200(SEM5)
主要功能：在各种操作模式下分析导电和不导电样品，得到二次电子像和背散射电子像。对多种样品都可以进行EDS分析工作的快速、准确。电镜可作为一个微观实验室。对多种样品保持其原始状态下进行动态原位分析。对导电样品，可选用减速模式得到表面和成份信息。
主要技术指标：分辨率在加速电压5kv下为3.0nm,10kv下2.0nm,5kv下1.0nm
主要学科领域：物理学
服务内容：服务于获得样品二次电子像和背散射电子像
用户须知：

已测试 21 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

高分辨SEM电子束曝光系统

主要功能：1. 高精度电子束曝光（主要功能）; 2. 电子束扫描显微镜成像功能; 3. 2018年配置X射线能量色散能谱: 元素定量分析和二维平面元素分析.
主要技术指标：1. 电子光学系统 ★分辨率：二次电子（SE）像 ≤ 1.0 nm @ 15k V；1.4 nm @ 1kV; 加速电压： 0.2kV－30KV。放大倍数误差：≤3 % ★电子枪：Schottky场发射电子枪，最大束流200nA ★ 物镜光阑：物镜光栏能自加热自清洁；无需拆卸镜筒即可更换物镜光阑。光阑采取马达驱动二次电子和背散射电子成像系统：自动调节和手动调节亮度、对比度 2. 样品台：五轴马达驱动 ★样品台移动范围：X/Y≥110mm；Z≥65mm；样品台倾斜角度：T≥-15～+75°；R=360°连续旋转。样品室尺寸：左右>379mm 3. 分析工作距离：5 mm 4. 数字图像记录系统图像处理：最大61 44 x 4096像素；图像显示：单幅图像显示或4帧图像同时显示图像记录 : TIFF, BMP或JPEG; 图像漂移补偿DCFI. 5. 配置Elec trostatic Beam Blanker和Keithley Picomete r (皮安计) 6. 配置NPGS（纳米图形生成系统）9.1，能和NPGS无缝链接完成电子束曝光 7. 配置UHV腔体，有2个以上可扩展窗口，以备以后系统功能扩展，比如做EDS和FIB扩展用
主要学科领域：材料科学
服务内容：1. 石墨烯／二维晶体电子器件的微纳米器件加工。 2. 石墨烯／二维晶体电子器件的表征（SEM）。 3. 石墨烯／二维晶体的物性表征（SEM）。 4. 强自旋－轨道耦合的拓扑量子材料研究。 5. 物理系其他需要微纳米加工平台的课题小组，如超导量子器件研究，纳米材料器件的研究等。
用户须知：

已测试 14 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

全自动台式场发射扫描电子显微镜

主要功能：飞纳台式场发射扫描电镜能谱一体机标配背散射电子成像、二次电子电子成像和能谱分析功能，可对各种样品进行高分辨成像及元素分析。能量色散谱采用稳定坚固的超薄 Si3N4 窗口，元素检测范围 B (5) ~ Am (95)，对轻元素检测和低电压能谱分析更具优势。Phenom Pharos 低电压成像优势明显，可减轻电子束对样品的损伤和穿透，最大程度还原样品真实形貌。
主要技术指标：① 光学放大倍率：20~135倍； ②电子放大倍率：最高1,000,000倍； ③电子光学分辨率：优于1.8nm@15KV SED； ④电子枪加速电压：2kV~15kV连续可调； ⑤元素探测范围：B（5）~Am（95）；
主要学科领域：材料科学
服务内容：
用户须知：

已测试 56 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

300mm口径激光干涉仪

主要功能：可以测量光学镜片、镜头的面型等光学性能。
主要技术指标：1.菲索机械移相式激光干涉仪； 2.校准系统：快速条纹采样系统，双CCD，独立校准十字屏幕； 3.测量光束直径：≥4英寸； 4.激光功率：~1mW； 5.波长及频率稳定性：633nm，<0.0001nm； 6.成像分辨率：≥1200*1200像素； 7.帧速：≥160Hz； 8.RMS重复性：≤0.06nm，λ/10000（2σ）； 9.RMS波前重复性：≤0.35nm，λ/1800（mean+2σ）； 10.具有抗震机械移相模式，可以在无抗震平台条件下做机械移相式测量。 12寸扩束系统
主要学科领域：工程与技术科学基础学科
服务内容：具体服务内容需要面议。
用户须知：

已测试 26 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

钨灯丝扫描电子显微镜

主要功能：该设备具有高分辨率，能做各种固态样品表面形貌的二次电子像、背散射电子像观察及图像处理。配备X射线能谱仪，能对样品表层的微区点线面元素进行定性及半定量分析，具有形貌、化学组分综合分析能力。与一般扫描电镜相比，它能以更高的分辨率观察固体样品表面显微结构和形貌，是研究材料表面结构与性能关系的重要工具。由于分辨率高，为纳米材料的研究提供了可靠的实验手段。可对金属、无机非金属、高分子材料及生物样品等的表面显微结构和形貌进行分析。
主要技术指标：1、分辨率：≤0.8 nm；2、放大倍率：≥80万倍；3、加速电压：0.2-30KV；4、检测器：具有检测SE和BSE信号功能； 5、可选配STEM，EDX等附件
主要学科领域：材料科学,能源科学技术,化学,化学工程
服务内容：将在材料科学、化学、生命科学、医学、化学化工、环境科学、地学等领域的基础研究中应用广泛。
用户须知：无

已测试 25 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

场发射扫描电子显微镜

一、仪器名称
中文名称：场发射扫描电子显微镜
英文名称：Field Emission Scanning Electron Microscope
二、型号：ZEISS GEMINI 500
三、生产厂家：德国蔡司公司ZEISS
四、仪器简介：
ZEISS Gemini 500扫描电子显微镜是一台全功能的场发射扫描电子显微镜（FE-SEM），可以高分辨率、高衬度和高信噪比使用二次电子和背散射电子进行In-lens检测，即使要求苛刻的非导电样品也能获得清晰的图像，可对多种样品进行衬度和低电压成像。同时装有布鲁克X射线能谱仪，可广泛应用于微区形貌和成分分析。
五、仪器主要特点及技术指标：
1．分辨率： ≤0.6 nm@15KV （二次电子），≤1.1nm@1kV（二次电子，无任何特殊模式）； ≤1.2nm@500V；
2. 放大倍率：20-2,000,000
, 根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准，低倍率与高倍率无需任何模式更换；
3. 电子枪：肖特基热场发射电子枪；
4. 加速电压或着陆电压范围：0.02kV ～ 30 kV，步进10V，连续可调；
5. 探针电流：最大电流≤100nA；
6. 镜筒内具有静电透镜设计，可对铁磁性材料进行高分辨成像；
7. 可容纳最大样品尺寸≥200mm，最大样品高度≥60mm；
8. 五轴优中心马达驱动样品台，移动最大范围指标：X≥130mm，Y≥130mm，Z≥50mm，双向倾斜，倾斜范围-3°-70°，旋转≥360°（连续旋转）；
9. 样品室有独立的背散射电子探测器（EsB）；
10. 样品室内二次电子探测器（SE）；
11. 安装在镜筒内正光轴上超高分辨In-Lens二次电子探测器（In-Lens SE）；
12. 配备气锁（air lock），更换样品抽真空时间更短；
13. 能谱仪 ≥60 mm2活性区面积
六、仪器主要功能及其用途：
1. 针对材料科学（金属材料、非金属材料、纳米材料、有机材料）、化学科学、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、刑事侦察、工业生产等领域进行材料的微观形貌观察。（液体样品必须充分烘干后才可进行测试）
2. 针对材料进行实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和点、线扫描分布测量。

已测试 584 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

透射电子显微镜

一、仪器名称
中文名称：透射电子显微镜
英文名称：Transmission Electron Microscope
二、型号：JEM-1400F
三、生产厂家：日本电子
四、仪器简介：
仪器由电子光学系统、真空系统、控制系统、底片成像系统、数字化成像系统等。可对样品的微区进行高衬度、高分辨成像。可以进行图像观察和微区的衍射晶体结构分析。
五、仪器主要特点及技术指标：
1．电子枪：预对中灯丝
2. 最大加速电压：120kV
3. 相机长度：10-250cm
4. 最小束斑尺寸：0.2μm以下（TEM模式）
5. 放大倍数：×10 – ×1,500,000
6. 图像观察窗：大荧光屏：直径160mm；小荧光屏：标准20mm
7. 双眼目镜：标准配置10，聚焦后无需改变放大倍数直接成像
8. 底插CCD相机
9. 分辨率：500万像素
10. 像素尺寸：18μm × 18μm
11. 视野范围：41mm × 41mm
12. 真空系统：分子泵系统，换样时间2分钟内
六、仪器主要功能及其用途：
1. 微纳米材料形貌表征
2. 选区电子衍射

已测试 485 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

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