场发射扫描电子显微镜-光衍未来

场发射扫描电子显微镜

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设备简介

一、仪器名称
中文名称：场发射扫描电子显微镜
英文名称：Field Emission Scanning Electron Microscope
二、型号：ZEISS GEMINI 500
三、生产厂家：德国蔡司公司ZEISS
四、仪器简介：
ZEISS Gemini 500扫描电子显微镜是一台全功能的场发射扫描电子显微镜（FE-SEM），可以高分辨率、高衬度和高信噪比使用二次电子和背散射电子进行In-lens检测，即使要求苛刻的非导电样品也能获得清晰的图像，可对多种样品进行衬度和低电压成像。同时装有布鲁克X射线能谱仪，可广泛应用于微区形貌和成分分析。
五、仪器主要特点及技术指标：
1．分辨率： ≤0.6 nm@15KV （二次电子），≤1.1nm@1kV（二次电子，无任何特殊模式）； ≤1.2nm@500V；
2. 放大倍率：20-2,000,000
, 根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准，低倍率与高倍率无需任何模式更换；
3. 电子枪：肖特基热场发射电子枪；
4. 加速电压或着陆电压范围：0.02kV ～ 30 kV，步进10V，连续可调；
5. 探针电流：最大电流≤100nA；
6. 镜筒内具有静电透镜设计，可对铁磁性材料进行高分辨成像；
7. 可容纳最大样品尺寸≥200mm，最大样品高度≥60mm；
8. 五轴优中心马达驱动样品台，移动最大范围指标：X≥130mm，Y≥130mm，Z≥50mm，双向倾斜，倾斜范围-3°-70°，旋转≥360°（连续旋转）；
9. 样品室有独立的背散射电子探测器（EsB）；
10. 样品室内二次电子探测器（SE）；
11. 安装在镜筒内正光轴上超高分辨In-Lens二次电子探测器（In-Lens SE）；
12. 配备气锁（air lock），更换样品抽真空时间更短；
13. 能谱仪 ≥60 mm2活性区面积
六、仪器主要功能及其用途：
1. 针对材料科学（金属材料、非金属材料、纳米材料、有机材料）、化学科学、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、刑事侦察、工业生产等领域进行材料的微观形貌观察。（液体样品必须充分烘干后才可进行测试）
2. 针对材料进行实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和点、线扫描分布测量。