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塞贝克系数扫描探针显微镜

电导率-塞贝克系数扫描探针显微镜
主要功能：热电性能测试/分析测试
主要技术指标：最小位移步长≤1μm；最大扫描区域：100mm×100mm；位置分辨率1μm。
主要学科领域：电子与通信技术
服务内容：电导率、塞贝克系数测试
用户须知：

已测试 128 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

半自动手动探针台

主要功能：探针台具备支持直流/高频段射频微波测试、测试精度高、准确重复性好、系统集成能力强、性价比高等特点，能满足本项目对IV\CV及高频到110GHz RF特性测试的要求。
主要技术指标：1.载片台 1.1载片台尺寸不小于Φ210mm，可支持晶元、芯片及单器件进行IV/CV测试，RF测试，RF最高可升级支持1.1THz频率测试。 1.2 载片台支持器件尺寸，晶元Φ50mm-Φ200mm，单颗器件最小尺寸4mm*4mm。（最小器件正常都是正方形） 1.3 包含两个独立辅助载片台，尺寸不小于25mm*25mm,平坦度≤±5μm。 1.4 载片台采用完全独立的真空孔吸附，可分区吸附样品，并具备不少于4档分区独立真空控制开关。 1.5 xy方向移动范围：≥25×25mm，分辨率≤1μm，包含千分尺精细调节方式。 1.6 Y轴取放片行程≥90mm 1.7 Z轴可调范围0-20mm，调节分辨率＜1.0μm 1.8.载片台360°旋转，精细调节范围≥±5° 2.针座平台 2.1针座平台材质采用不锈钢，表面镀镍。 2.2平台至少可容纳4个射频针座或者8个直流针座。 2.3平台可升降，z方向可移动范围：0-3mm。 2.4扎针一致性好，操作重复性≤1μm 2.5 Z方向接触分离高度小于等于300μm 2.6 兼容keysight/VDI/R&S等主流扩频模块。 3.显微镜系统 3.1采用单筒式高分辨率显微镜，含LED同轴光源 3.2 变焦比：不小于3.3x 3.3放大倍率范围不小于1.25-15倍，光学分辨率不小于1.6μm，综合放大倍率不小于400倍。 3.4 显微镜XY方向可独立移动，移动范围≥50mm×50mm，Z方向移动范围不少于140mm高度，显微镜支架采用高稳定桥式支架。 3.5 含高清CCD，像素≥500万，配到连接CCD的显示器，可以实现图像的截屏、翻转、颜色处理等功能。 4.探针座、探针、光纤夹具及电缆 4.1 包含4套直流探针座，采用磁性吸附设计，XYZ方向行程均≥12.5mm 4.2 包含4套射频探针座，2套最高可兼容110GHz，两套最高可兼容67GHz。采用磁性吸附设计，XYZ方向行程均≥12.5mm。 4.3包含2根WR-10波导管。 4.4包含2根WR-15波导管。 4.5包含直流探针4盒，每盒25根，针尖半径7μm 4.6提供配套的探针及校准片。2根射频波导探针为75-GSG-100-BT，2根射频波导探针为120-GSG-100-BT，射频探针的信号排布为GSG。 4.7提供定制光纤夹持器，光纤角度可调节，兼容探针台及探针座。 4.8包含2组扩频模块连接套件，支持同轴或波导连接方式，可通过针座控制XYZ移动，X/Y/Z方向移动范围≥25mm/25mm/15mm，且扩频模块连接套件必须能够搭载扩频模块和探针一起实现Theta的旋转调整 5.屏蔽防震系统 5.1 屏蔽箱可以实现遮光、EMI屏蔽、高低温温控，防止静电噪声对测量的影响。 5.2 EMI屏蔽性能：≥30dB(typical)@1kHz to 1MHz 5.3 光衰减性能：≥130dB 5.4 光谱噪声基底：≤-180dBVrms/rtHz(≤1MHz) 5.5系统交流电噪声 ≤ 5 mVp-p (≤ 1 GHz) 5.6屏蔽指标是对应的机型。 6.校准软件 6.1 配置同品牌专业的校准软件，可以实现独有的1、2、3、4端口校准，和即时的、实时的数据测量和观察。 6.2 支持slot等形式的多线路TRL校准。 7.正压干燥系统及真空泵 7.1系统带有无油涡旋（非活塞式）进口空气压缩机，外形尺寸≤1275mm*700mm*1450mm(包含储气罐)；排气量≥0.17m3/min、工作压力≥8bar、噪声≤53dB(A)，含有冷却系统，储气罐含量≥270L。 7.2 系统采用进口膜式多级过滤干燥机，外形尺寸≤380mm*81mm；处理量≥0.14 m3/min、工作压力≥1.3bar、压力露点≤-20°C、出口粒子≤0.01微米、出口含油量＜0.001mg/ m3、重量≤5kg。 7.3 提供无油免维护真空泵，空气流量达120L/min，噪音不超过60dB。 8.气浮式光学隔振平台。 8.1隔振平台尺寸不小于1000mm×900mm×100mm，采用不锈钢面板，阵列25mm×25mm M6螺孔。 8.2 提供无油空压机一台，减压阀一支。
主要学科领域：自然科学相关工程与技术
服务内容：涉及电力电子、新能源、通信等多个领域的研究。
用户须知：

已测试 141 次平均 0 个工作日完成 100% 对测试结果满意

场发射扫描电子显微镜

一、仪器名称
中文名称：场发射扫描电子显微镜
英文名称：Field Emission Scanning Electron Microscope
二、型号：ZEISS GEMINI 500
三、生产厂家：德国蔡司公司ZEISS
四、仪器简介：
ZEISS Gemini 500扫描电子显微镜是一台全功能的场发射扫描电子显微镜（FE-SEM），可以高分辨率、高衬度和高信噪比使用二次电子和背散射电子进行In-lens检测，即使要求苛刻的非导电样品也能获得清晰的图像，可对多种样品进行衬度和低电压成像。同时装有布鲁克X射线能谱仪，可广泛应用于微区形貌和成分分析。
五、仪器主要特点及技术指标：
1．分辨率： ≤0.6 nm@15KV （二次电子），≤1.1nm@1kV（二次电子，无任何特殊模式）； ≤1.2nm@500V；
2. 放大倍率：20-2,000,000
, 根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准，低倍率与高倍率无需任何模式更换；
3. 电子枪：肖特基热场发射电子枪；
4. 加速电压或着陆电压范围：0.02kV ～ 30 kV，步进10V，连续可调；
5. 探针电流：最大电流≤100nA；
6. 镜筒内具有静电透镜设计，可对铁磁性材料进行高分辨成像；
7. 可容纳最大样品尺寸≥200mm，最大样品高度≥60mm；
8. 五轴优中心马达驱动样品台，移动最大范围指标：X≥130mm，Y≥130mm，Z≥50mm，双向倾斜，倾斜范围-3°-70°，旋转≥360°（连续旋转）；
9. 样品室有独立的背散射电子探测器（EsB）；
10. 样品室内二次电子探测器（SE）；
11. 安装在镜筒内正光轴上超高分辨In-Lens二次电子探测器（In-Lens SE）；
12. 配备气锁（air lock），更换样品抽真空时间更短；
13. 能谱仪 ≥60 mm2活性区面积
六、仪器主要功能及其用途：
1. 针对材料科学（金属材料、非金属材料、纳米材料、有机材料）、化学科学、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、刑事侦察、工业生产等领域进行材料的微观形貌观察。（液体样品必须充分烘干后才可进行测试）
2. 针对材料进行实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和点、线扫描分布测量。

已测试 584 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

透射电子显微镜

一、仪器名称
中文名称：透射电子显微镜
英文名称：Transmission Electron Microscope
二、型号：JEM-1400F
三、生产厂家：日本电子
四、仪器简介：
仪器由电子光学系统、真空系统、控制系统、底片成像系统、数字化成像系统等。可对样品的微区进行高衬度、高分辨成像。可以进行图像观察和微区的衍射晶体结构分析。
五、仪器主要特点及技术指标：
1．电子枪：预对中灯丝
2. 最大加速电压：120kV
3. 相机长度：10-250cm
4. 最小束斑尺寸：0.2μm以下（TEM模式）
5. 放大倍数：×10 – ×1,500,000
6. 图像观察窗：大荧光屏：直径160mm；小荧光屏：标准20mm
7. 双眼目镜：标准配置10，聚焦后无需改变放大倍数直接成像
8. 底插CCD相机
9. 分辨率：500万像素
10. 像素尺寸：18μm × 18μm
11. 视野范围：41mm × 41mm
12. 真空系统：分子泵系统，换样时间2分钟内
六、仪器主要功能及其用途：
1. 微纳米材料形貌表征
2. 选区电子衍射

已测试 485 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

钨灯丝台式扫描电镜

一、仪器名称
中文名称：钨灯丝台式扫描电镜
英文名称：Tungsten Filament Bench SEM
二、型号：ZEM15
三、生产厂家：安徽泽攸科技有限公司
四、仪器简介：
ZEM15台式扫描电镜速度快，信号采集带宽10 M，可以在视频模式下流畅实时地显示样品。鼠标完成所有操作，不需对中光阑等步骤，聚焦消像散后可直接拍图。主机集成高压及控制系统，体积小巧，便于移动，安装无需特殊环境，市电220 V，50 HZ电源供电。
五、仪器主要特点及技术指标：
1. 环境要求：单相交流220 V，50 Hz，1 KW。
2.加速电压：3 KV~15 KV连续可调。
3.电子枪：预对中钨灯丝，一体式聚光镜，无需手动调节物镜光阑。
4.放大倍数：150000
5. 成像模式：10 M信号采集带宽视频模式（512×512像素，无需小窗口扫描）；快扫模式（扫描时间不大于3秒，512×512像素）；慢扫模式（扫描时间不大于40秒，2048×1536像素）。

已测试 1853 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

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