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光刻纳米压印(光刻机)
简介:紫外光波长:350-450 nm 光强:20 mw/cm2 (365 nm) 30 mw/cm2(405 nm) 光均匀性:±3 % 接近式曝光距离1-999 um,精度1 um Step 分辨率:0.8 um 套准精度:±0.5 um XY平台移动范围:±5 mm,±5°;移动精度:0.1 um,4E-5° 衬底:2'*2', 4'*4' 掩膜版:3', 5'
图形转换及纳米压印系统(光刻机)
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场发射扫描电子显微镜
一、仪器名称
中文名称:场发射扫描电子显微镜
英文名称:Field Emission Scanning Electron Microscope
二、型号:ZEISS GEMINI 500
三、生产厂家:德国蔡司公司ZEISS
四、仪器简介:
ZEISS Gemini 500扫描电子显微镜是一台全功能的场发射扫描电子显微镜(FE-SEM),可以高分辨率、高衬度和高信噪比使用二次电子和背散射电子进行In-lens检测,即使要求苛刻的非导电样品也能获得清晰的图像,可对多种样品进行衬度和低电压成像。同时装有布鲁克X射线能谱仪,可广泛应用于微区形貌和成分分析。
五、仪器主要特点及技术指标:
1.分辨率: ≤0.6 nm@15KV (二次电子),≤1.1nm@1kV(二次电子,无任何特殊模式); ≤1.2nm@500V;
2. 放大倍率:20-2,000,000
, 根据加速电压和工作距离的改变,放大倍数自动校准,低倍率与高倍率无需任何模式更换;
3. 电子枪:肖特基热场发射电子枪;
4. 加速电压或着陆电压范围:0.02kV ~ 30 kV,步进10V,连续可调;
5. 探针电流:最大电流≤100nA;
6. 镜筒内具有静电透镜设计,可对铁磁性材料进行高分辨成像;
7. 可容纳最大样品尺寸≥200mm,最大样品高度≥60mm;
8. 五轴优中心马达驱动样品台,移动最大范围指标:X≥130mm,Y≥130mm,Z≥50mm,双向倾斜,倾斜范围-3°-70°,旋转≥360°(连续旋转);
9. 样品室有独立的背散射电子探测器(EsB);
10. 样品室内二次电子探测器(SE);
11. 安装在镜筒内正光轴上超高分辨In-Lens二次电子探测器(In-Lens SE);
12. 配备气锁(air lock),更换样品抽真空时间更短;
13. 能谱仪 ≥60 mm2活性区面积
六、仪器主要功能及其用途:
1. 针对材料科学(金属材料、非金属材料、纳米材料、有机材料)、化学科学、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、刑事侦察、工业生产等领域进行材料的微观形貌观察。(液体样品必须充分烘干后才可进行测试)
2. 针对材料进行实时微区成分分析,元素定量、定性成分分析,快速的多元素面扫描和点、线扫描分布测量。
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透射电子显微镜
一、仪器名称
中文名称:透射电子显微镜
英文名称:Transmission Electron Microscope
二、型号:JEM-1400F
三、生产厂家:日本电子
四、仪器简介:
仪器由电子光学系统、真空系统、控制系统、底片成像系统、数字化成像系统等。可对样品的微区进行高衬度、高分辨成像。可以进行图像观察和微区的衍射晶体结构分析。
五、仪器主要特点及技术指标:
1.电子枪:预对中灯丝
2. 最大加速电压:120kV
3. 相机长度:10-250cm
4. 最小束斑尺寸:0.2μm以下(TEM模式)
5. 放大倍数:×10 – ×1,500,000
6. 图像观察窗:大荧光屏:直径160mm;小荧光屏:标准20mm
7. 双眼目镜:标准配置10,聚焦后无需改变放大倍数直接成像
8. 底插CCD相机
9. 分辨率:500万像素
10. 像素尺寸:18μm × 18μm
11. 视野范围:41mm × 41mm
12. 真空系统:分子泵系统,换样时间2分钟内
六、仪器主要功能及其用途:
1. 微纳米材料形貌表征
2. 选区电子衍射
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钨灯丝台式扫描电镜
一、仪器名称
中文名称:钨灯丝台式扫描电镜
英文名称:Tungsten Filament Bench SEM
二、型号:ZEM15
三、生产厂家:安徽泽攸科技有限公司
四、仪器简介:
ZEM15台式扫描电镜速度快,信号采集带宽10 M,可以在视频模式下流畅实时地显示样品。鼠标完成所有操作,不需对中光阑等步骤,聚焦消像散后可直接拍图。主机集成高压及控制系统,体积小巧,便于移动,安装无需特殊环境,市电220 V,50 HZ电源供电。
五、仪器主要特点及技术指标:
1. 环境要求:单相交流220 V,50 Hz,1 KW。
2.加速电压:3 KV~15 KV连续可调。
3.电子枪:预对中钨灯丝,一体式聚光镜,无需手动调节物镜光阑。
4.放大倍数:150000
5. 成像模式:10 M信号采集带宽视频模式(512×512像素,无需小窗口扫描);快扫模式(扫描时间不大于3秒,512×512像素);慢扫模式(扫描时间不大于40秒,2048×1536像素)。
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高性能比表面积及孔径分析仪
一、仪器名称
中文名称:高性能比表面积及孔径分析仪
英文名称:High Performance Surface Area and Aperture Analyzer
二、型号:BSD-660SA3B3
三、生产厂家:贝士德仪器(天津)有限公司
四、仪器简介:
该仪器可进行比表面积测定;
介孔,微孔,超微孔分;析
常规气体吸附,如N2,O2,Ar,CO,CO2 等;
可燃气体吸附,如H2、CH4、C2H6等烷烯炔烃。
仪器主要特点及技术指标:
测试范围比表面积0.0005㎡/g以上;孔径0.35-500nm;总孔体积 0.0001cc/g以上;
高测试精度比表面积、孔径、孔体积、吸附量,定量误差<0.5%RSD(以标准样品BET值计);
全自动脱气过程与测试过程全自动切换,无需人为干预;
程序升温脱气软件控制程序升温,室温-400℃,精度优于0.1℃;
智能脱气完成判断支持软件自动判断,根据压力变化自动判断脱气效果;
防飞扬脱气“程序控压”+“程序控温”+“脱气炉升降”;
彻底消除“氦污染”氦气测试死体积→真空加热脱气→吸附测试,解决微孔分析的氦污染难题,提高测试准确度;
气路系统全恒温仪器气路系统全恒温至40℃,精度优于0.1℃;
便捷安装密封单分析站6支样品管一次性密封技术,无需单支逐个密封;
多路进气选配8路独立进气;
可支持CO2,O2,Ar,CO,H2、CH4、C2H6烷烯炔烃等其他气体吸附;
液氮杯自动加盖仪器具有液氮杯自动加盖功能,能够有效的减少液氮的挥发,同时也可避免水蒸气在杜瓦杯口和样品管上冷凝结冰;
饱和蒸气压螺旋P0管采用螺旋状的P0管作为饱和蒸气压管,与仪器主机连接,使得测试的饱和蒸汽压更接近真实值(解决了直形不锈钢P0管测试结果偏大2%的问题),提高测试精度。
智能自检流程智能判断样品管是否安装,试管夹套是否拧紧有无漏气;
杜瓦杯配备了3升的大容量小口径杜瓦瓶,保温时长140h,保证至少90小时无需添加液氮
测试理论吸附、脱附等温线测定;BET比表面测定(单点/多点法);朗格缪尔(Langmuir)比表面;统计吸附层厚度法外比表面;BJH法孔容孔径分布;MK-plate法(平行板模型)孔容孔径分布;D-R法微孔分析;t-plot法(Boder)微孔分析;H-K法(Original)微孔分析;MP法(Brunauer) 微孔分析;真密度测试;粒度估算报告;具有IASTL理论模型;吸附热报告模型;
高智能化工作模式交互式数据处理软件可实现仪器的全自动运行,长时间实验完全无需人工值守,可根据用户需要定制报告内容
人性化操作界面清晰形象的图形化控制界面,并可在界面上进行所有硬件的控制操作。
天平通讯连接天平,重量语音播报并自动录入,提高称重效率,降低误录率;
仪器主要功能及其用途:
该仪器可进行比表面积测定;
介孔,微孔,超微孔分;析
常规气体吸附,如N2,O2,Ar,CO,CO2 等;
可燃气体吸附,如H2、CH4、C2H6等烷烯炔烃。
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和频振动光谱仪 自研
设备简介:
和颜振动光谱系统:将一束可见脉冲激光与一束红外光脉中,同时入射到样品池内待测高温熔盐界面的同一位置,通过改变红外的振动频率,在反射方向利用光谱仪收集界面分子振动的和频信号,获得和频光谱强度I(W)。
技术指标:
检测温度:RT-900°C;能量分辨率:<6cm-1;光谱分辨率:<1nm;光源:氚钨灯及飞秒激光
主要功能:
探测样品的和频光谱信号
应用领域:
探测样品的和频光谱信号
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主和频振动光谱仪(SFG)
功能:主和频振动光谱仪(SFG)能在准单分子层水平上研究材料界面分子结构与取向信息。
技术参数:
1)激光系统:脉宽:35fs,重复频率不低于1kHz,功率高(实验中用到的红外光和可见光能量不低于10mW),红外带宽不低于300cm-1。A.振荡器(Oscillator);84MHz,平均功率>400mW,中心波长800nm,稳定性好,噪声低;B.放大器(Amplifier):能量不低于6W,重复频率1kHz,35fs;放大器所需的泵浦脉冲激光器的能量不低于28mJ(1kHz);
技术参数指标 C.光学波长转换器,包括OPA和DFG,产生红外光的范围2600nm-11000nm。
2)检测系统:
A单色仪:分辨率0.05nm at 435.8nm,焦距:500mm;BEMCCD相机:像素1600*400;背照式;读出噪声:<1e-rms;暗电荷(dark charge):0.001@-60oCe-/pixel/sec;峰量子效率(peakQE):95%,波长范围在200-1000nm。
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