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镀膜机
主要功能:在超高真空下将待蒸镀材料利用电子束加热达到熔化温度使其蒸发,达到并附着在基底表面形成致密均匀目标薄膜,该设备配置三个腔室可依次对样品进行清洗刻蚀、薄膜蒸发、氧化处理等工艺。
主要技术指标:1. 含预真空进样腔体,本底真空度<6×10-8 Torr;2. 预真空腔体可以对衬底进行多种处理:加载≤4 inch 衬底,支持衬底旋转和衬底倾斜,支持衬底背面加热可达200℃,支持衬底清洗刻蚀;3. 独立蒸镀腔体本底真空度<1×10-9 Torr;4.电子枪功率 6 kW,至少5 个坩埚,能蒸镀Ti/Au/Cr/Al/Al2O3 等薄膜;5. 薄膜沉积速率分辨率 10-3 nm/s,膜厚分辨率10-2 nm;6. 能够进行双角度蒸镀,倾斜角度重复性和精度优于 0.01°;7. 含有独立氧化腔体,本底真空度<1×10-8Torr;8. 氧化腔体能够对样品进行静态氧化、动态氧化;9. 全自动电脑控制。
主要学科领域:自然科学相关工程与技术
服务内容:
用户须知:无
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600兆核磁共振仪
主要功能:用于研究分子结构、各种分子、动力学或分子动力学之间的相互作用、生物混合物的组成或合成解决方案或复合材料
主要技术指标:谱仪场强600兆 双共振液体探头——可开展1H 、13C(包括15N-31P的其他 核)等一维及多维液体实验 三共振液体探头——可开展1H 、19F、13C(包括13C {1H,19F })等一维及多维液体NMR实验,侧重于19F核 磁共振测
主要学科领域:化学
服务内容:化学样品测试分析,含结果报告
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600MHz核磁共振波谱仪
主要功能:主要用于研究分子结构、不同分子间的相互作用、分子动力学或动态特征,以及生物溶液、合成溶液或复合材料混合物等的成分。也可对各种有机物成分、结构进行定性和定量分析
主要技术指标:灵敏度 ≥900:1(0.1%EB,1H) ≥365:1(ASTM,13C) 分辨率 ≤12 Hz (1%CHCl3 ,1H) ≤5 Hz (ASTM,13C) 线 形 ≤0.6/6(1 %CHCl3 ,1H) ≤0.2/3 (ASTM,13C)
主要学科领域:材料科学
服务内容:
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7
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高分辨单色化X射线光电子能谱仪
主要功能:1. 该系统通过测量不同元素的芯能级,能够实现高精度的元素和价态分析。 2. 该系统使用X-射线作为光源,能够采集较大束缚能范围的光电子能谱数据,实现对材料电子结构的完整表征。 3. 该系统具备微区分析功能,可以针对微米级别的特定区域开展元素组分与电子结构分析,是目前观测薄膜样品元素和价态分布,进而探索其生长机理最有力的工具之一
主要技术指标:1、本底真空度优于5*10-10mbar; 2、单色化AlKαX射线源,光斑尺寸200-900um,大光斑极限分辨率0.43eV; 3、XPS能谱分析尺寸20-900um,平行成像精度1um; 4、双极性半球形分析器,可采集ISS离子散射谱,能量分辨率优于12eV; 5、配备同轴/离轴双电子枪,可用于磁性和非磁性绝缘样品的荷电中和测量,最佳能量分辨率0.68eV; 6、配有Ar离子刻蚀和团簇离子刻蚀,可用于不同敏感性材料的深度剖析; 7、配有反射电子能量损失谱(REELS),可用于氢元素的定量分析; 8、配有俄歇光电子能谱分析(AES),空间分辨率可达95nm,并能够实现相应的形貌表征功能(SEM)。
主要学科领域:材料科学
服务内容:针对微米级别的特定区域开展元素组分与电子结构分析
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五轴联动超声波镗铣加工中心
主要功能:切削
主要技术指标:10m/s
主要学科领域:机械工程
服务内容:机械加工
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中小电机测试系统
主要功能:中小电机功率、效率、温升、安全等性能测试
主要技术指标:功率:5.5kW、扭矩:100NM;电压:380V;转速:5000r/min
主要学科领域:动力与电气工程
服务内容:中小电机功率、效率、温升、安全等性能测试
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超导核磁共振波谱仪
主要功能:Max. Resolution: >100,000 Std Operating Resolution:60,000 @ m/z 400 Internal Standard - MS:< 2 ppm RMS with iLock
主要技术指标:Max. Resolution: >100,000 Std Operating Resolution:60,000 @ m/z 400 Internal Standard - MS:< 2 ppm RMS with iLock Internal Standard - MS/MS:< 2 ppm RMS with iLock External Standard - MS < 5 ppm (typically 1-3ppm) External Standard - MS/MS< 5 ppm (typically 1-3ppm) Mass range:50 to 4000 Da; split into low and high range,50 to 2000 and 200 to 4000Da Sensitivity: Sub femtomole.
主要学科领域:物理学
服务内容:化学,药学,材料科学,化学工程等
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光调制分析仪
主要功能:测试分析高频(>59G)光相干信号的信号质量
主要技术指标:1. 系统的通道数:4 通道 2. 相干光通信测试功能: 支持 110Gbaud QPSK、 16QAM、 32QAM、 64QAM 信号校准、 测试( 星座图、 误码率等) 分析 3. OOK、 PAM4 测试功能: 支持 110Gbaud OOK、 PAM4 信号校准、 测试( 眼图、 误码率等) 分析 4. OMA 单台设备提供 4 个 59GHz 模拟带宽通道 5. OMA 本底噪声( RMS 值): 860uV@60mVfull scale 6. 自动频响校准功能: 支持 AWG、 OMA( RTO) 及测试系统中连接的电缆、 接头、 夹具的频响自动校准 7. 误码显示功能: 显示接收的 OOK、 PAM4 信号的误码率 8. OMA 最高采样率 256GSa/S 9. OMA 垂直灵敏度: 1mV/格至 500mV/格
主要学科领域:电子与通信技术
服务内容:
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