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晶圆分析仪

主要功能：碳化硅衬底片和外延片的缺陷检测
主要技术指标：1.设备支持1寸-8寸晶圆测试，并保证完成全片整面检测。 2.设备支持非整晶圆的样片（如切片等）检测，进行手动放置自动检测。 3.设备可以检测的缺陷必须至少包括：划痕（scratch），凹坑（pit），突起（bump），微管（micropipe），胡萝卜（carrot），三角形（triangle），Downfall，堆垛层错缺陷（Stacking Fault），基平面位错（BPD）等各结晶及加工缺陷。 4.设备对晶圆各处具有相同的缺陷检测灵敏度的扫描方式，并且在晶圆的周边及整面同时检测出BPD和SF缺陷。 5.设备具备可提高颗粒物（particle）、划痕（scratch）检测精度的优化设计。 6.设备需包含10倍目镜镜头，对缺陷的最大放大倍数不低于130倍，单张图像对应的视场范围不小于1.5mm×1.5mm，具有图像拼接功能可以形成整晶圆的图像。 7.设备对晶圆的缺陷可以进行图像显示和图像保存，并提供清晰的图像，图像的像素尺寸要求：表面缺陷的像素尺寸≤1.75μm/Pixel，PL检测的缺陷像素尺寸≤3.5 μm/Pixel。 8.设备对缺陷的检测精度：可成功检出并分类的缺陷最小尺寸不大于4μm。 9.设备可以检测的晶圆厚度范围300μm-800μm。 10.PL检测系统同时满足SiC衬底片、薄外延片（外延厚度在10μm以内）以及厚外延片（外延厚度在10μm-70μm范围）的检测需求。
主要学科领域：物理学
服务内容：碳化硅衬底片和外延片的缺陷检测
用户须知：

已测试 32 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

液相色谱串联高分辨质谱联用仪

主要功能：用于蛋白质生化功能和多肽组学分析、全蛋白修饰，核酸，小分子定量分析。
主要技术指标：独立的可加热电喷雾离子源（ESI源）；质量分析器采用四极杆与静电场轨道阱串联的组合，质量范围50-4000m/z；仪器分辨率：100,000 FWHM ( m/z=200)；≥4档可调；MS/MS灵敏度（分辨率保持在60000 FWHM或以上）：50fg 利血平进样S/N>500:1；扫描模式：高分辨全扫描MS和MS/MS 、高分辨选择离子扫描、高分辨全子离子碰撞碎裂扫描、高分辨正负离子切换扫描、高分辨数据依赖子离子扫描、高分辨数据非依赖扫描（DIA-MS/MS）、高分辨平行反应监测子离子扫描。
主要学科领域：生物学
服务内容：主要涉及蛋白质组学，包括未知肽段的筛选、测序；肽质量指纹图谱测定；蛋白质分子量测定；高通量蛋白质表达谱测定；蛋白质相互作用鉴定；高通量蛋白质翻译后修饰种类研究和位点鉴定；
用户须知：

已测试 23 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

分子束外延和光电子能谱联合系统

主要功能：该系统主要用于进行新型薄膜材料的制备(MBE生长腔)以及材料的电子结构的研究(ARPES腔)。将这两个手段结合起来非常重要，因为这种通过高真空的结合为原味，无污染的电子结构测量提供了保证。这种MBE+ARPES系统也是现在世界上各个大学和研究所争相发展的研究方法和手段。角分辨光电子能谱(ARPES)是现在研究强关联电子体系的最重要的手段之一，它能直接测量关联物质体系最重要的参量之一，即费米面/能带结构的性质。
主要技术指标：电子能谱仪：提供多种扫描方式（固定、扫描、角分辨等），角分辨模式的能量范围为3-1500 eV；能量分辨率<1.8 meV；极限角度分辨率<0.1°；可同时探测>38°的角度范围；拥有9个不同大小的入口光阑；拥有二维CCD探测器，能量通道>1000，角度通道>700，信号探测采用数字化2维CCD探测器模式，后续可不打破真空升级为偏转模式（即不用转样品进行费米面扫描）高通量氦灯：束流> 2x1016 photons/sr s；能同时提供21.2 eV, 23.08 eV和40.8 eV光子，FWHM < 2 meV；提供微波发生器，单色器，三级真空差分系统（每级包括独立的分子泵、干泵）；有独立漏阀，皮拉尼真空计，进行氦气管路的调控；使用定制的毛细管，内径为0.5mm；拥有氦灯位置单独调节系统，能自由调节氦灯位置和进行系统对准。光电子能谱真空系统：由AISI 316L刚制成；内衬为μ金属；剩余磁场< 5毫高斯；真空系统包括离子泵、钛升华泵、分子泵组、干泵；装有离子规、分子泵与腔体有气动门阀，并配有真空保护；包括机械手、加热器、烘烤毯、控制器、系统控制面板；基本压强<1e-10 mbar。分子束外延薄膜生长系统：装配有RHEED15电子衍射系统（能量500eV-15 keV, 束流30μA，束斑尺寸70μm，偏转角度+-15°）；可以高温加热的样品台（最高达1400C）；配备有QCM膜厚仪，膜厚粗量精度+-10%以内；样品台加热系统和温控系统；配备有RGA气体质量分析器(1-100 amu)；系统配有分子泵，干泵，离子泵，钛升华泵，极限真空能达到1x10-10 mbar；配备有真空系统控制软件和真空保护系统；配备有8个源炉接口和水冷系统。快速进样腔：配有全量程真空规，分子泵，无油机械泵，真空可达5x10-9 mbar；配备有加热器，能加热至800C；配备有氩离子刻蚀枪，氩气进气系统，高精度漏阀，可实现样品在5x10-6 mbar氩离子浓度下的离子刻蚀。分子束外延生长和光电子能谱传样系统：能实现两者之间的真空传样
主要学科领域：自然科学相关工程与技术
服务内容：其重要功能包括：制备重费米子合金，各种f电子金属等高质量薄膜(MBE)，对材料的电子结构进行高精度研究(ARPES)。MBE系统可为本校其他开展关联物质研究的小组们提供高质量样品，ARPES系统不仅能原味测量MBE腔生长的样品，也能测量由本校其他小组制备的块状样品。作为凝聚态物理一个重要的研究手段，ARPES技术的发展将为这个研究领域提供新的动力。这套MBE+ARPES系统也能用于很多其他材料体系，包括半导体，金属，氧化物等。其应用范围和共享学科包括凝聚态物理学，材料学，微电子学等。
用户须知：无

已测试 24 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

屏蔽房

主要功能：极弱磁场测量需要屏蔽地磁和环境磁场减少背景噪声，磁屏蔽房提供弱磁环境。
主要技术指标：中心场剩磁（30*30*30cm）：小于50nT；屏蔽系数指标：DC 500；0.01Hz 38；0.1Hz 75；1Hz 600；10Hz 8000；100Hz 50000
主要学科领域：临床医学
服务内容：无
用户须知：无

已测试 5 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

数字血管减影造影X线机

主要功能：可完成全身各部位病变的介入治疗，如肝癌的血管栓塞术、肺癌的灌注化疗术、脑动脉瘤的栓塞术、脑动静脉畸形的栓塞术、冠脉狭窄的球囊扩张和支架植入术、先天性心脏病房间隔缺损和动脉导管未闭的堵闭术、二尖瓣和肺动脉瓣狭窄的球囊扩张术、胆道食道扩张和支架植入术、各种经皮穿刺活检和引流术等先进的介入手术。
主要技术指标：该机图像清晰度可达1024×1024，采集速度可达60幅/秒，C型臂可自由全角度旋转，能完成心血管、脑血管、主动脉、腹部脏器血管、盆腔血管、四肢血管等全身各部位血管的成像，对于上述各部位的血管性病变、肿瘤性病变等有确诊价值。
主要学科领域：军事医学与特种医学
服务内容：教学、实践、研究、实验
用户须知：

已测试 16 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

近常压扫描隧道显微镜系统

主要功能：主要用于扫描样品表面形貌
主要技术指标：压力从超高压力到近常压，温度从100-500K
主要学科领域：化学
服务内容：主要用于扫描样品表面形貌
用户须知：仪器正在使用，预约待延后

已测试 11 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

双束聚焦离子刻蚀系统

主要功能：切割和纳米加工的作用，并有原位成像的辅助功能，加以辅助气体还能实现焊接。
主要技术指标：一、离子束 1. 分辨率：≤3.0nm@30kV； 2. 离子镜筒：Ion-sculpture镜筒； 3. 放大倍率范围不小于：300x~500kx； 4. 束流强度范围不小于：1pA-65nA； 5. 加速电压范围不小于：0.5kV-30kV；二、电子束 1. 分辨率：≤0.9nm@15KV；≤1.8nm@1kV； 2. 最大束流不低于20nA； 3. 放大倍率范围不小于：20x-2000kx； 4. 加速电压范围不小于：0.5kV-30kV；三、样品室及马达台系统 1. 样品室内部尺寸不小于330mm（宽）？330mm（深）？270mm（高）； 2. 六轴高精度超优中心全自动马达样品台：样品台XY方向移动范围不低于100mm，Z方向移动范围不低于10mm，倾斜角度T范围不小于-4°到60°，旋转角度R=360°； 3. 样品预交换室：可放置样品最大尺寸不小于80mm；四、电子束曝光 1. 设备连接后，保证可实现将电镜切换成外部扫描模式； 2. 通过图形发生器设定写场，同时扫描图像后保证图像水平和垂直方向正确； 3. 通过图形发生器实现控制束闸的开关； 4. 通过图形发生器实现扫描电镜和其工作台的远程控制； 5. 使用标样对写场进行校准；
主要学科领域：自然科学相关工程与技术
服务内容：原位失效分析，定点投射样品制备，三维重构等方面
用户须知：无

已测试 36 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

卷膜机

主要功能：卷式膜片（干膜）的卷制
主要技术指标：设备节拍：4 pcs/小时生成尺寸：4寸/8/寸
主要学科领域：材料科学
服务内容：
用户须知：

已测试 16 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

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