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光刻机

主要功能：主要功能：用于MEMS或CM0S器件的亚微米光刻工作，包括双面对准光刻。
主要技术指标：1.350W-500W汞灯，紫外NUV，波长280-450nm。 2.精度：4寸晶圆误差+/-2％，6寸晶圆误差+/-4％。 3.对准：双面对准下1-1000微米解析度。
主要学科领域：材料科学,物理学,电子与通信技术,动力与电气工程
服务内容：：物理、电子、材料、光学、生仪等专业。应用范围：用于MEMS或CM0S器件的光刻工作。
用户须知：

已测试 68 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

便携式浅水多波束系统

主要功能：近岸海底地形测量近岸海底地形测量
主要技术指标：波束角：1度×1度；工作频率：200～400KHz频率实时在线可选；量程：0-1000米。
主要学科领域：测绘科学技术
服务内容：测绘科学技术近岸海底地形测量
用户须知：

已测试 9 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

超高真空多靶磁控溅射系统

主要功能：纳米级的单层及多层功能膜-各种硬质膜、介质膜、铁磁膜和磁性薄膜等的研发。
主要技术指标：本底真空(UltimatePressure):2.66×10-6Pa 沉积室尺寸(DepositionChamber):W450×D410×H450m 基片尺寸(SubstrateSize):F2~8inch 基片旋转速度(RotatingSpeed)：0~20rpm(Motordriven) 沉积功率(CathodePower):DCpowersupply500W×3sets RFpowersupply200W×2sets 基片温度（SubstrateHeating):Max.800±20 厚度均匀性(ThicknessUniformity):±3%(F80mm) 沉积速率(DepositionRate):3.0nm/min(Nifilms)，2.0nm/min(ZnOfilms)
主要学科领域：材料科学
服务内容：纳米级的单层及多层功能膜-各种硬质膜、介质膜、铁磁膜和磁性薄膜等的研发。
用户须知：

已测试 15 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

纳米电子材料综合测试系统

主要功能：信号发生模组（频率范围250KHZ-40GHZ;频率分辨率0.001hz；电平分辨率0.01db）信号分析模组频率范围3HZ-43GHZ;频率精度1*10e-8;分析带宽1Hz-8MHz;灵敏度-150db;幅度精度0.24db）
主要技术指标：阻抗测试模组（频段为10MHz-20GHz;动态范围为136db;频率分辨率1HZ）；精度1ppm;功率分辨率0.01db）脉冲测试座（频段2-20GHZ）脉冲发生模组（速率1mHZ-165MHZ;脉宽范围3.03ns-999.5s;幅度范围100mV-20mV;转换时间2ns-200ms）; 功率放大模组（频率范围1-26.5GHZ;噪声系数10；增益30db）信号发生模组（频率范围250KHZ-40GHZ;频率分辨率0.001hz；电平分辨率0.01db）信号分析模组频率范围3HZ-43GHZ;频率精度1*10e-8;分析带宽1Hz-8MHz;灵敏度-150db;幅度精度0.24db）
主要学科领域：电子与通信技术
服务内容：
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已测试 33 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

高分辨率活细胞工作站

主要功能：高分辨率活细胞成像系统是用于活细胞长时间、高清晰度、高灵敏度成像的设备。
主要技术指标：DeltaVision OMXBlaze空间辨别率是激光共聚焦显微镜的8倍，时间辨别率可以到达400帧/秒；对处于正常生理状况下的细胞进行全程扫描和记录
主要学科领域：生物学
服务内容：高分辨率活细胞成像系统是用于活细胞长时间、高清晰度、高灵敏度成像的设备。
用户须知：预约申请

已测试 21 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

三维分辨粒子成像测速仪

主要功能：三维时间分辨粒子成像测速仪(3D TR-PIV)，为一种瞬态、多点、无接触式的流体力学测速方法。近几十年来得到了不断完善与发展，PIV技术的特点是超出了单点测速技术（如激光多普勒测速仪LDA）的局限性，能在同一瞬态记录下大量空间点上的速度分布信息，并可提供丰富的流场空间结构以及流动特性，能满足教学、科研、产业服务的应用需求。
主要技术指标：对常规流体进行二维/三维速度场测试；常规水流流场最大测试视场 600 mm×550mm；常规气流流场最大测试视场 500 mm×450mm；测试速度范围 0~1000 m/s；测速精度 1%； PIV 系统采样频率 10Hz（图像采样频率 20Hz）
主要学科领域：机械工程
服务内容：三维时间分辨粒子成像测速仪(3D TR-PIV)，为一种瞬态、多点、无接触式的流体力学测速方法。近几十年来得到了不断完善与发展，PIV技术的特点是超出了单点测速技术（如激光多普勒测速仪LDA）的局限性，能在同一瞬态记录下大量空间点上的速度分布信息，并可提供丰富的流场空间结构以及流动特性，能满足教学、科研、产业服务的应用需求。
用户须知：

已测试 2 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

痕量有机污染物在线检测

痕量有机污染物在线检测系统
主要功能：实时的二恶英在线检测、焚烧过程微量、痕量持久性有机污染物实时在线监测
主要技术指标：（1）检测限：1ppb级（苯的检测限可到10-9g）；（2）可实现苯系物、氯苯类有机物的检测（平均1小时获取2个以上的数据）；（3）加热过滤装置针对0.01微米粒径，除尘率达到95%；（4）采样管路温控范围常温至200℃；（5）数据采集设备采样率大于1GS/s，带宽大于500MHz；（6）激光器输出波长在250nm-340nm间连续可调；电离率稳定。对同种物质，不同工况下（不同烟气气氛、不同浓度）电离率相同，线性度达到95%以上；（7）仪器测量的稳定性能好，，实际烟气中二恶英在线浓度指示与离线检测浓度偏差小于40%。
主要学科领域：自然科学相关工程与技术
服务内容：
用户须知：

已测试 3 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

火电机组控制系统实验环境

主要功能：用于构建火电机组控制系统测试环境，主要实现1000MW超超火电机组给水控制系统，汽轮机控制系统、辅助控制系统等。
主要技术指标：用于构建火电机组控制系统测试实验环境，总点数约为3763 点；系统共计机柜13 个，卡件总数为333 个；实现1000MW 超超临界火电机组给水控制系统、汽轮机控制系统、辅助控制系统等。更多参数信息请联系获取。
主要学科领域：信息与系统科学相关工程与技术
服务内容：
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已测试 17 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

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