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深反应刻蚀机
主要功能:MEMS或CMOS器件的刻蚀工作,包括双面深刻蚀Si,Poly-Si,SiNx,SiO2,W,WSi,Mo,MoSi,Ta,TaSi,石英等。
主要技术指标:激励电源:13.56MHz 1500W,AE公司;带匹配器和功率计1台。 偏压电源:500W,带自动匹配器和功率计。带定时器1台。 真空系统:620升/秒分子泵,8升/秒机械泵1台,带真空计。 反应室尺寸:300mm。 气路系统:6路进气,4个质量流量计,4路显示。 可加工片子尺寸:4英寸。可双面氯基刻蚀。 均匀性:5%(4英寸内)。
主要学科领域:自然科学相关工程与技术
服务内容:用于MEMS或CMOS器件的刻蚀工作。 物理,电子,材料,光学,生仪等专业
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氦3/氦4稀释制冷机
主要功能:提供极低温以及强磁场等极端条件下物性测量的外部环境。
主要技术指标:1. 最低温度约10mK 2. 冷却功率大于100微瓦(温度在100mK) 3. 超导磁铁:15/17特斯拉 4. 配带样品旋转装置 5. 配备六根从室温连接到低温部分的同轴电缆 6. 样品空间:直径约5cm,长度大约20cm 7. 具有液氦保护层的杜瓦罐 8. 配带自循环液化装置 9. 配带氦3恒温器
主要学科领域:物理学
服务内容:该设备主要用于极低温,强磁场,超高压等极端条件下不同物性的测量。目前在该仪器拟开展的物性测量包括:电阻、比热、磁化率、磁场穿透深度、dHvA等。该仪器可用于研究关联电子材料、纳米体系、生物材料等复杂体系中的奇异量子态或量子现象,是国家量子调控等重大基础科学研究计划中需要建立和发展的关键测量设备与实验技术。该设备可广泛应用于物理、材料、化学及生物等学科。
用户须知:
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9
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7
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双向动三轴试验系统
主要功能:可完成土体的静动三轴试验
主要技术指标:振动频率最大可达10Hz,可实现双向振动(轴向、侧向)振动可由力或位移控制试样直径:38mm, 50mm, 70mm,100mm. 最大垂直向荷载(静)20kN 最大垂直向荷载(动) 10kN+/-5kN 最大围压 1400kPa。振动波形可以为自定义波形,或是正弦波、三角波、梯形波等。
主要学科领域:土木建筑工程
服务内容:可做土体的静动三轴试验
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22
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道路三维大数据无损探测系统
主要功能:主要用于道路三维探测
主要技术指标:1.1★分辨率(时间):0.34纳秒; 1.2★扫描模式:用户定义,包括线性扫描,多偏移和共中点等; 1.3 操作模式:须具备连续时间测量、距离测量两种模式可选; 1.4 扫描率:用户可选,高达每秒13000条A扫描; 1.5 时间范围:用户可选,高至250纳秒; 1.6电源:10.5-36VDC,<100W,系统可用蓄电池供电,也可接汽车内电源; 1.7★主机内含采集软件,外接笔记本电脑无需预装采集软件,任何笔记本电脑配置网线即可进行操作,同时主机连接互联网,实现远程固件升级和故障诊断; 1.8★内置GPS授时模块,用于雷达数据定位; 2、天线(空气耦合天线阵、地面耦合天线阵各一套) 2.1★天线阵内部通道间隔不大于7.5cm,保证横向测量分辨率 2.2★天线频率范围200MHz~3000MHz超宽频带,保证高分辨率(最大可达3000MHz,最小可达200MHz ) 2.3★空气耦合天线通道数不少于20个,地面耦合天线通道数不少于20个。 2.4★为安全方便考虑,整套天线要求宽度不大于 2m 3、高清摄像要求 3.1 激光器模块: ★中心波长:808±10nm; 输出功率:8W; 3D 结构光模块,激光头与驱动集成一体封装,航插供电,自带控温功能 3.2 相机模块 ★传感器分辨率 不低于 2560px X 832px 像素大小 6μm X 6μm ★最高三维分辨率 16位,1/16子像素 3.3 镜头模块 焦距: 9mm 光圈范围:(F no) F1.4-F1.6 4、采集软件要求: 4.1★采用先进的控制技术,电脑无需预装采集软件,电脑只要打开浏览网页即可调用固化在主机里的采集设置。 4.2★具有实时三维显示 4.3现场对目标打标记 4.4根据检测需求,自由设定时窗、扫描周期、激活的天线数目和采样间隔等参数; 4.5★内置GPS或外置GPS,定位和精确的授时;
主要学科领域:交通运输工程
服务内容:具体服务内容面议,主要用于道路三维探测
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12
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预浸实验系统
主要功能:加工热固性塑料以及温度达400℃的热塑性基体材料系统
主要技术指标:非标,加工温度400℃
主要学科领域:材料科学
服务内容:复合材料制备
用户须知:
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3
次 平均
7
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小动物活体光学三维成像系统
主要功能:系统同时具备二维及三维断层水平的生物发光、荧光、切伦科夫辐射成像功能,能够无创伤地在活体动物水平对疾病的发展及细胞的动态变化、基因的实时表达进行长期观测。
主要技术指标:高灵敏度生物发光及荧光成像,3D 断层扫描及重建,精确定量,高通量,高分辨率(达20微米),28个高效滤光片,覆盖430-850nm全波段。
主要学科领域:基础医学
服务内容:在活体动物水平对疾病的发展及细胞的动态变化、基因的实时表达进行长期观测。
用户须知:提前一周预约。
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4
次 平均
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单分子免疫阵列分析系统
主要功能:对血清、血浆、脑脊液等样本中蛋白标志物进行超高灵敏度定量检测。
主要技术指标:1.HD-X分析仪是全自动多重数字免疫分析系统,提供fg/ml的蛋白质生物标志物检测灵敏度; 2.HD-X分析仪使用Simoa技术测量固定在2.7μm磁珠表面上的单个分子。反应时每个磁珠封装在Simoa光盘上阵列中的小孔中; 3.每个光盘含有24个阵列,每个阵列含有239,000孔,每个孔的反应体系为50飞升。感兴趣的分析物用酶标记发出化学荧光,最后通过对Simoa光盘成像检测蛋白标志物; 4.HD-X分析仪是一个完全自动化的检测系统,可以全自动处理整个检测方案(包括样本稀释,试剂添加,孵育,洗涤,检测和分析等所有环节); 5.高通量:HD-X分析仪支持每小时分析68个样本, 每次同时检测288个样本; 6.HD-X分析仪能够在多种样品基质中检测蛋白标志物的浓度,包括血清,血浆,脑脊液,尿液,唾液,细胞裂解液和呼出气冷凝物等。
主要学科领域:生物学
服务内容: 神经蛋白检测 肿瘤蛋白检测 心血管蛋白检测 炎症蛋白检测 感染蛋白检测
用户须知:培训且考核通过后方能上机
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8
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C臂X线机
主要功能:介入及骨科手术中的X线影像诊断
主要技术指标:能够在术中实时显示全身各关节及脊柱的横断面,矢状面,冠状面的无失真CT断层图像
主要学科领域:临床医学
服务内容:
用户须知:无
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